Products/Service
製品・サービス
当社は、半導体製造における前工程分野を中心に、
ウエハーや治具、用途に応じた多様なプロセスに対応する装置を
提供しています。
研究開発向けの少量生産用から量産機まで、柔軟なカスタマイズ設計により、
お客様のニーズに最適なソリューションを実現します。
Process主な対応工程
半導体製造の前工程分野を中心に
幅広く対応します。
レジスト剥離
ウエハー・治具洗浄
エッチング
（酸・アルカリ、RCA洗浄対応）
メッキ
（電解・無電解）
陽極酸化・
ポーラスシリコン形成
Products主な製品ラインアップ
研究開発の少量生産用から量産機まで、
用途に応じた幅広い工程に対応する装置を取り揃えています。
レジスト剥離洗浄装置
多彩な揺動機構・循環方式を備え、手動から全自動まで対応。安全性・機能性を兼ね備えた設計。
エッチング装置
酸・アルカリ・特殊薬液に対応。搬送方式や濃度管理機構など、工程に応じた仕様を選択可能。
リフトオフ装置
枚葉式・バッチ式の6種の基本モデルと豊富なオプションを組み合わせ、ウエハー特性に応じた最適な処理を実現。
治具洗浄装置
石英管・カセット・大型治具など、材質や形状に応じた精密洗浄が可能。
特注設計
お客様のご要望に合わせて、適切な装置仕様・オプション機能をご提案。
一品一様の特殊設計にも柔軟に対応します。
Support装置導入からアフターサービスまでの体制
当社では、装置の導入から運用開始後のサポートまで、
一貫したサービス体制を整えております。
お客様の生産活動を止めないために、
スピード・品質・柔軟性を重視したサポートを提供しています。
長期的なパートナーとして、
装置のライフサイクル全体を通じて価値を提供してまいります。
STEP.1
導入前
お客様の製造プロセスや課題に向き合い、最適な装置仕様を過去の実績や知見から処理条件に合ったご提案が可能（遠隔対応も可）
STEP.2
導入時
現地での設置・立ち上げ支援、操作トレーニングの実施
STEP.3
導入後
- 定期点検・保守契約による安定稼働の支援
- トラブル時の迅速な対応（遠隔診断・現地訪問）
- 消耗品・部品の供給体制も万全
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